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高纯气体的质量检测主要依赖于的分析技术,如气相色谱法、质谱法、红外光谱法等。这些方法可以检测气体中的杂质含量,从而确定气体的纯度。例如,气相色谱法可以检测气体中的有机和无机杂质,而质谱法可以检测气体中的离子和分子。此外,还可以通过测量气体的压力、温度、湿度等参数来评估气体的质量。
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